卓??萍嫉顷懶氯澹簢鴥纫幠W畲蟮陌雽w前道量檢測修復設備供應商 已形成14nm制程修復工藝平臺
新三板又迎來(lái)一家行業(yè)龍頭企業(yè)——國內規模最大的前道量檢測修復設備供應商卓??萍迹?74380)于今日正式登陸新三板并進(jìn)入創(chuàng )新層。目前,卓??萍歼€處于上市輔導之中,輔導機構為海通證券。
卓??萍际且患覍?zhuān)注于半導體前道量檢測設備領(lǐng)域的企業(yè)。前道量檢測設備是指,以光、電子束等介質(zhì)作為主要工具,針對光刻機、刻蝕機、薄膜沉積設備等工藝設備的加工成果,進(jìn)行關(guān)鍵指標的量測或潛在缺陷的檢測,其使用場(chǎng)景覆蓋芯片前道生產(chǎn)的幾乎全部工序。
目前卓??萍嫉漠a(chǎn)品及服務(wù)得到了半導體行業(yè)知名客戶(hù)的廣泛認可,終端客戶(hù)覆蓋客戶(hù) A、客戶(hù) B、客戶(hù) C、華虹半導體、士蘭微、客戶(hù) D、華潤上華、客戶(hù) G 等國內主流芯片產(chǎn)線(xiàn)客戶(hù),具備成熟的商業(yè)化能力和較強的市場(chǎng)影響力。
創(chuàng )新性方面,卓??萍际菄壹墝?zhuān)精特新小巨人企業(yè)。截至公開(kāi)轉讓說(shuō)明書(shū)簽署日,公司已取得專(zhuān)利 70 項,其中發(fā)明專(zhuān)利 30 項,另有 15 項專(zhuān)利正在申請中,其中發(fā)明專(zhuān)利 15 項;此外,公司還取得了軟件著(zhù)作權 16 項。
業(yè)績(jì)方面,2022年至2023年前三季度,公司營(yíng)收分別為3.14億元,1.93億元,歸母凈利潤分別為1.19億元,6872.51萬(wàn)元。
國內規模最大的前道量檢測修復設備供應商 已形成14nm制程修復工藝平臺
卓??萍脊驹谇暗懒繖z測設備領(lǐng)域深耕十余年,具體來(lái)說(shuō),目前公司產(chǎn)品以前道量檢測修復設備為主,同時(shí)也致力于前道量檢測設備及核心組件的自主研發(fā)和芯片產(chǎn)線(xiàn)運維工作。
在修復設備領(lǐng)域, 卓??萍际菄鴥?span id="eo2pjw2b" class="mgc">最大的前道量檢測修復設備企業(yè),已形成最高可達 12 英寸、 14nm 制程的修復工藝平臺,為芯片的安全穩定生產(chǎn)提供了有效保障。近年來(lái),卓??萍疾粩嚅_(kāi)展與原廠(chǎng)修復部門(mén)的競爭,市場(chǎng)占有率持續提升,已由 2018 年的 2.07%增長(cháng)至 2023 年的7.73%,
在自研設備領(lǐng)域, 卓??萍家呀?jīng)完成了應力測量設備、 方塊電阻測量設備兩類(lèi)自研整機設備的研發(fā),相關(guān)技術(shù)指標達到國際原廠(chǎng)的同類(lèi)產(chǎn)品水平,并已經(jīng)銷(xiāo)售給國內多個(gè)知名芯片產(chǎn)線(xiàn)客戶(hù),實(shí)現自研產(chǎn)品的商業(yè)化。
同時(shí),卓??萍汲掷m進(jìn)行核心組件的研發(fā)和供應鏈的培育,已形成高重頻脈沖激光器、高壓電源裝置、精密傳輸系統等突破成果,不斷提高技術(shù)水平。
例如對缺陷檢測設備的核心組件-高重頻脈沖激光器而言,卓??萍荚?60nm 制程節點(diǎn)已實(shí)現對應型號的規模量產(chǎn)及銷(xiāo)售;在40nm 制程節點(diǎn)已通過(guò)技術(shù)驗證,正在進(jìn)行研發(fā)樣機轉產(chǎn)測試; 在 28nm 制程節點(diǎn)已通過(guò)技術(shù)驗證, 正在進(jìn)行研發(fā)樣機制備。 公司正在開(kāi)展無(wú)圖形晶圓缺陷檢測設備、薄膜膜厚測量設備的自主研發(fā)攻關(guān),預計 2024 年形成樣機并進(jìn)行技術(shù)驗證。
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